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マイクロマシンセンター

■(財)マイクロマシンセンター  091128

製造に関する次代への進化>マイクロマシンセンター





財団法人マイクロマシンセンターは、マイクロマシン・MEMS等のマイクロナノ分野
に係る基盤技術の確立を図るべく産学官の力を結集して、これまで数々の国・
NEDO主導の技術研究開発プロジェクトを推進してきました。 

 マイクロマシン技術研究開発プロジェクト(1991-2000)を端緒に、MEMS用設計・
解析支援システム(MemsONE) 開発プロジェクト(2004-2006)、高集積・複合MEMS(ファインMEMS)製造技術開発プロジェクト(2006-2008)、異分野融合型
次世代デバイス(BEANS)製造技術開発プロジェクト(2008-2012)等に取り組ん
できており、今後もマイクロナノ分野のイノベーションの実現へ向けて技術
フロンティアへの挑戦を続けていきます。 技術・調査研究活動 

 また、これらの技術開発プロジェクトが産業化のトリガーの役割を果たし、
当該分野の産業発展が進展することが期待されていることから、当センターの
下に2006年4月、MEMS関連企業を中核メンバーにして、さらにはアカデミー、
地域クラスター、海外団体等をも構成メンバーに加えたMEMS協議会を立ち上げ
ました。  MEMS協議会 

 MEMS協議会では、近年急速に市場が拡大しつつあるMEMS産業の一層の
発展を支援し、ひいてはわが国産業の国際競争力強化や豊かな未来社会の
創造に貢献することを目的とし、政策提言事業や産業連携、国際標準化、
技術成果普及、ビジネス内外交流、MEMS開発インフラ整備等に係る諸事業を
実施し、産業化を支援する活動を行うこととしています。

 

 更新 2009.11.28

□マイクロマシンセンター

   ●アクセス
 

◆概要
◆センター基本データ
◆MMC行動憲章

◆賛助会員
○会員一覧
○各社の活動紹介
 

 

◇MEMS協議会















 

MEMS協議会は、財団法人マイクロマシンセンターの下にMEMS関連企業を構成メンバーとする特別事業委員会の形で設置され、近年広がりが進展しつつあるMEMS産業の一層の発展を支援し、ひいてはわが国産業の国際競争力強化に貢献することを目的とし、政策提言事業や産業交流・活性化事業を推進してまいります。
●設立趣旨
今やMEMS技術はわが国産業の競争力強化にとって極めて重要なものとなりつつあり、今春の産構審産業技術分科会の報告書においても謳われているところ。また、MEMS技術を活用したMEMSデバイス・製品の市場が拡大し、産業としての広がりが進展しつつある。このような状況を踏まえ、MEMS産業の一層の発展を支援し、わが国産業の国際競争力強化に貢献することを目的として、MEMS関連企業を構成メンバーとするMEMS協議会を設置することとする。

●事業活動内容
MEMS協議会は、MEMS産業の一層の発展を支援し、わが国産業の国際競争力強化に貢献することを目的として、行政、関係機関への政策提言活動や、産業交流・活性化のための諸々の活動を推進しております。これらの事業展開に際しては、MEMS関連企業の構成メンバーが中心となり、アフィリエート関係にあるアカデミー、地域拠点、海外機関等と連携しつつ活動を行っていきます。

◆政策提言活動
◆産業調査・技術調査
◆標準化活動
◆先端技術交流
◆大学、研究機関との連携

 

◇MEMSファンドリー

MEMSファンドリーサービス産業委員会が、財団法人マイクロマシンセンターMEMS協議会の下で運営するMEMSファンドリーサービス(MEMS設計・試作・製造の受託サービス)のサイトです。ファンドリーサービスを活用することにより、製造設備を有しない企業でも容易にMEMSビジネスに参入できるようになります。積極的にご利用下さい。
 

◇MEMSモール


  ●講習会案内

 


























































 

MEMSモールは、各企業が最新のMEMS関連製品・技術を紹介するサイトです。
(財)マイクロマシンセンター・MEMS協議会が運営しています。MEMSビジネスチャンス拡大などにご活用下さい。
 
◆出展製品の分類
 


○MEMSデバイス・MEMS応用  

MEMSデバイス  光MEMS(ミラー、スイッチ、スキャナー等)
RF-MEMS(スイッチ、発振器、フィルター等)
センサーMEMS(加速度、角速度、圧力、ガス、温度等)
流体MEMS(マイクロ流路、マイクロリアクター等)
アクチュエータMEMS(バルブ、ポンプ等)
パワーMEMS(燃料電池、小型発電機)
バイオ・化学MEMS(DNA/RNAチップ、化学物質検査等)
集積化MEMS(CMOS/LSA融合デバイス)
MEMS応用  MEMS製品(マイクロフォン、ディスプレイ等)
微小ロボット
マイクロファクトリー
センサーネットワーク
エネルギーハーべスティング 
バイオ・医療関連 診断・治療用MEMS応用
 DSS、ナノカプセル
DNA・RNAチップ
 マイクロリアクター、マイクロ流路 他
 


○MEMS製造関連装置・材料

MEMS製造装置




 
薄膜形成(蒸着・スパッタ・CVD・メッキ)
露光・描画
レジスト処理
エッチング
接合
ダイシング
ボンディング
実装・パッケージング
微細成形(射出、ホットエンボス)
その他製造装置用関連装置
ナノインプリント マイクロ・ナノ金型
ナノインプリント製造装置
ナノ加工・超精密・微細加工 



 
超精密ナノ加工
基板・表面のマイクロマシニング
微細溝・穴加工
レーザー加工
微小放電加工
精密微細機械加工
微細切断加工
イオンビーム加工
超音波加工 他 
MEMS設計ツール 設計ツール
 シミュレーション、CAD・CAE解析ソフト 他
MEMSファンドリーサービス 設計・シミュレーション
 検証・試作、製品開発、量産
その他の受託加工サービス
 パターニング、成膜、レーザー加工、メッキ加工
評価・計測・検査機器




 
外観検査装置
 形状粗さ測定器、測長SEM、膜厚測定器
顕微鏡
 光学顕微鏡、電子・プローブ顕微鏡、オージェ電子分光装置
密封度試験装置
 静電除去装置
液体用・各種ガス用
 計測用機器、各種分析用機器
MEMS材料 




 
圧電薄膜(ZnO、AIN、PTZ)
 レジスト材料、貼付材、保護材
LTCC基板
 ガラス基板、SiC
ナノチューブ
 サファイヤ、ポリマー、セラミック
磁性材料
 強誘電体 

◇MemsONEひろば

























































 

MemsONEひろば はMEMS用設計・解析支援システム"MemsONE" のユーザーの皆さまや関係者の方々が集うポータルサイトです。

MemsONE Ver.2.0 を2009(平成21)年2月初旬からリリースを開始しました。本バージョンは、機能強化と安定化を図ると伴にVista(32bit/64bit)版への対応も図っています。

◆Ver2.0 リリース案内  
◆Ver2.0機能パンフレット(PDFファイル)
◆Ver3.0 リリース情報

●MemsONEとは!
経済産業省・NEDO技術開発機構より委託された3ヵ年プロジェクト「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト(平成16〜18年度)」の最終成果が、MEMSの設計・研究・解析を支援するソフトウェア「MemsONE β版」です。

このβ版をベースに機能を改善・強化したより高機能なソフトウェア「MemsONE」のリリースを開始しました。平成21年2月現在のリリース状況は下記の通りです。

◆MemsONE Ver1.0 (販売・頒布を終了)
平成19年度のNEDO成果普及事業の成果9割を反映したバージョン → 平成20年2月中旬からリリース開始

◆MemsONE Ver1.1 (販売・頒布を終了)
平成19年度のNEDO成果普及事業の全成果を反映したバージョン → 平成20年5月下旬からリリース開始

◆MemsONE Ver2.0 (リリース開始)
Ver1.1の機能改善・強化に加え、Vista版(32bit/64bit)対応を図ったバージョン → 平成21年2月初旬からリリース開始

● MemsONEの特徴は!
MemsONEは以下の特徴を有しています。
@MEMSの設計・研究・解析を支援するソフトウェアです。
(MEMSの設計解析向けに開発した機構解析機能は一般の構造解析にも利用できます)

A熱・光ナノインプリント解析、回路シミュレータなどの機能も有しています。

BMEMSの設計研究に携わる初心者を支援する機能として、プロセス逆問題解析機能や知識・材料データベースを有しています。

C国産ソフトウェアでGUIも日本語版です。

● MemsONEの機能は!
MemsONEはフレームワークソフトと呼ばれるGUI部と、このGUIが制御する解析ソルバー部、 データベース部で構成されています。各部は次の充実した機能を有しています。  →機能構成図

■フレームワークソフト
@デバイス構造作成 A自動格子作成 B解析条件設定 Cマスク作成 Dプロセスレシピ E解析結果表示 Fデータコンバータ Gプラグイン機能 HデータベースI/F

■機構解析シミュレータ
@力学解析(弾塑性,熱弾塑性,振動モード,調和応答,時刻歴応答) A電磁界解析(電界,磁界,電流) B圧電解析 C熱伝導解析 D雰囲気流体影響解析 E電磁波解析 F連成解析(熱伝導-力学連成,弾塑性-電界連成,磁界-力学連成) G熱ナノインプリント解析 H光ナノインプリント解析

■プロセス解析ツール
@異方性ウェットエッチング Aドライエッチング Bマルチプロセスエミュレータ

■機能拡張ソスト
@プロセス逆問題解析 A接合実装解析 B回路集積化MEMSシミュレータ

■データベース
@知識データベース A材料・プロセスデータベース
 

◇MEMSPedia







 

 小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合MEMSデバイスを製造できる技術の確立を目的として、「高集積・複合MEMS製造技術開発(ファインMEMS)プロジェクト」が平成18年度から平成20年度の3年間、NEDO委託・助成事業として実施されました。マイクロマシンセンターでは、ファインMEMS開発・製造に係わる研究者・技術者の支援、裾野拡大を図ることを狙いとして、【ファインMEMS知識データベース】および【ファインMEMSシステム化設計プラットフォーム(MEMS等価回路ジェネレータ)】の開発を行いました。これらの成果は、インターネット上で提供することにより、知識情報、デザイン支援ツール等、様々なオープンコンテンツを搭載した百科事典”MEMSPedia”として、効果的な普及、拡充を図っていきます。
 

◇MMPJアーカイブ















 

 (財)マイクロマシンセンターは、1991年から10年間、約250億円の予算規模のマイクロマシン技術の研究開発プロジェクトを推進しました。マイクロマシンとは、数μm〜数mm寸法の部品により構成された微小な機械のことです。本プロジェクトでは、将来いろいろな形でマイクロマシンが実用化されることを期待して、マイクロマシン実現に資する技術的なプラットフォームづくりを目指しました。
実際には、経済産業省 (METI) /新エネルギー・産業技術総合開発機構 (NEDO)から、当センターを中心とする産学官の研究コンソーシアムが研究開発プロジェクトを受託する形で、大きな産業波及効果が期待されるマイクロマシンについての共通基盤技術、機能デバイスの高度化技術、システム化技術を確立するための研究開発を行いました。
本プロジェクトの産業波及効果は大きく、その後の我が国のマイクロマシン関連産業は大きく発展し、市場規模も拡大し年々のマイクロマシン・MEMS展も年々活況を呈しています。プロジェクト終了後5〜6年経過した時点でのNEDOアウトカム調査においても、本プロジェクトは大きな産業・経済効果があったとして高い評価を受けました。
◆プロジェクトの概観
◆10年間の技術のまとめ
◆プロジェクトアウトカム(成果および波及効果)
◆大学研究者への研究助成
◆未来のマイクロマシン絵画展

 


◇FineMEMSプロジェクト

 

 高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト

◇BENSプロジェクト


異分野融合型次世代デバイス(BEANS)製造技術開発プロジェクト
 

○技術・調査研究




 

マイクロマシン・MEMSの技術基盤の確立を図るべく、従来から「マイクロマシン技術開発プロジェクト」をはじめとする数々の国・NEDO技術開発プロジェクトを推進してきています。
これまでマイクロマシン技術研究開発プロジェクト(1991-2000)を端緒に、MEMS用設計・解析支援システム(MemsONE) 開発プロジェクト(2004-2006)、高集積・複合MEMS(ファインMEMS)製造技術開発プロジェクト(2006-2008)、異分野融合型次世代デバイス(BEANS)製造技術開発プロジェクト(2008-2012)等に取り組んできており、今後もマイクロナノ分野のイノベーションの実現へ向けて技術フロンティアへの挑戦を続けていきます。
 

○産業化推進




 

マイクロナノ分野(マシン・MEMS)の産業化を支援するため、2006年4月からMEMS関連企業を構成メンバーとするMEMS協議会を立ち上げております。同協議会はMEMS産業の一層の発展を支援し、ひいてはわが国産業の国際競争力強化に貢献することを目的とし、政策提言活動や各種の産業交流・活性化事業を推進していきます。 MEMS協議会 さらに同年からは、例年個々に開催してきたマイクロマシン展や国際シンポジウムなどをまとめて総合イベント−マイクロナノ として開催し、ビジネス交流活動を強化しております。さらにMEMSファンドリーネットワークシステムの強化、MEMS講習会などのインフラ整備活動や、マイクロナノ先端技術交流会等の産学連携活動をも推進しています。
 

○国際交流活動

 

 マイクロナノ分野の先端技術動向、産業化動向を把握するため、国際マイクロマシンサミットへの幹事国としての参加、国際シンポジウムの開催、海外展示会への出展、海外ビジネス調査団の派遣等の国際交流事業を、MEMS協議会事業の一環として積極的に推進しております。また、海外のMEMS関係機関との連携強化、海外企業とのビジネス交流等も推進しています。
 

○標準化活動








 

 マイクロマシンセンターでは、マイクロナノ技術分野における国際標準規格づくりに先導的に取り組んでいます。実際には、規格化のための検討、研究開発、ロードマップの策定、関係国との標準化ワークショップの開催等の活動を行っております。
今までに、わが国提案の「MEMS専門用語」、「MEMS用薄膜材料の引張試験法」、「MEMS用薄膜材料の引張試験用標準試験片の試験法(2件)」、「MEMS用薄膜材料の疲労試験法」についてIEC(International Electrotechnical Commission)の規格化が実現しています。今後も必要な規格について関係者で検討を進め、逐次提案を行っていきます。
また、2008年にはわが国提案により、IECの担当委員会のSC(分科委員会)への昇格が実現し、当センターは新SC(SC47F)の国内審議団体と、国際幹事を引き受けています。
 

○情報サービス活動


















 

当センターでは、ホームページやブログニュース(MEMSの波)、メーリングリスト(マイクロナノネット)等を活用して、インターネットによる情報提供活動を積極的に行っています。BEANS研究所と連携しつつ、ニュース・マンスリーや広報誌マイクロナノを通じて、マイクロナノ分野の産業化を支援する事業活動状況について迅速な情報サービスに努めています。

さらに、国内外のマイクロナノ分野に関する情報・資料の収集を行い、センターで実施した調査資料等とともに整備・データベース化してホームページから広く情報提供しています。

また最近では、国/NEDOプロの成果普及活動として、MemsONEの頒布、ファインMEMS知識データベース(MEMS Pedia)やMEMS等価回路ジェネレータ の公開も行っています。 

◆MEMSの波@マイクロセンター(ブルグニュース)
◆MMC−MIF−BEANSニュース(毎月発行)
◆広報誌「マイクロナノ」(季刊)
◆調査報告書一覧
◆イベント情報
◆MMCカフェ
マイクロナノ技術についての随想、わかりやすい解説、未来技術の絵画展等のホッとひと息つけるような様々な情報を提供します。
◆マイクロナノネット
マイクロナノネットは、財団法人マイクロマシンセンター(MMC)およびMEMS協議会(MIF)の関係者の方々すなわちマイクロナノ分野の産学官の多くの方々がネット上で集う場です。

●ファインMEMS知識データベース(MEMS Pedia)
●MEMS等価回路ジェネレーター
 

 

 

 

 

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